现目前常用的检测SF6的方法有以下五种：

1、 半导体技术
目前常用半导体材料二氧化锡Sn02为例说明气敏半导体材料的导电机理。Sn02是N型半导体，其导电机理可以用吸附效应来解释。它是多晶体，晶粒间界有较高的电阻，晶粒内部电阻较低。半导体气敏电阻的阻值将随吸附气体的数量和种类而改变。这类半导体气敏电阻工作时都需加热。器件在加热到稳定状态的情况下，当有气体吸附时，吸附分子首先在表面自由地扩散。期间一部分分子蒸发，一部分分子就固定在吸附处。此时如果材料的功函数小于吸附分子的电子亲和力，则吸附分子将从材料夺取电子而变成负离子吸附；如果材料的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向材料释放电子而成为正离子吸附。02和NOx（氮类氧化物）倾向于负离子吸附，称为氧化型气体。H2、CO、碳氢化合物和酒类倾向于正离子吸附，称为还原型气体。氧化型气体吸附到N型半导体上，将使载流子减少，从而使材料的电阻率增大。还原型气体吸附到N型半导体上，将使载流子增多，材料电阻率下降。根据这一特性，就可以从阻值变化的情况得知吸附气体的种类和浓度典型代表(TGS830、TGS832)卤素气体传感器，属于广谱型传感器，对很多其他气体都有反应 ，容易产生误报。

2、高压放电

前国内外绝大部分手持式定性SF6检漏仪采用这种方法，优点：传感器成本低廉，灵敏度还可以，缺点：寿命短，平均使用寿命只有20个小时，传感零点非常不稳定，传感器随时间不断的地衰减，易造成零点漂，线性度极差，因此，这种传感只能适合使用在手持式检漏仪，不能用于在线检测仪表中。目前国内大部分公司均采用该技术，且只可以对SF6在预先标定的报警值进行定性检漏。

3、超声波法：
　　超声波在固定距离中传播时间是跟声波所通过的介质有一定的关系，理论上，当不同浓度SF6与Air混合后，通过固定距离所需时间与SF6浓度存在一定的关系，通过所需时间长短直接反应SF6气体浓度。缺点：超声波易受湿度、温度影响非常大，微量SF6的信号也是很微弱的，容易被空气的湿度或温度的变化所干扰，因此，在测低浓度时易造成误报或不报，适合高浓度检测。通过大量检测，当SF6浓度达10000ppm以上，超声波法检测比较可靠。

4、热导法
　　热导型传感器，已经在气体分析仪器中大量应用，如色谱仪，氢气纯度分析仪等。在色谱仪中热导分析器主要用于微量分析。优点：寿命长，灵敏度高，缺点：成本高，电路复杂，对背景气体要求高，干扰比较严重，不适合超低浓度检测。

5、NDIR红外吸收法

非分光性红外线技术(non-dispersive infrared absorption，NDIR)是基于气体吸收理论的光谱类气体检测方法。其表现为：红外光源发出的红外辐射经过一定浓度待测的气体吸收之后，特定波长SF6对应10.55um，上光强度会发生与气体浓度相对应的变化，其变化规律可由比尔-朗伯吸收定律描述,因此可以根据光强变化求出气体浓度。 勤创科技采用双通道测量原理，探测器上有吸收通道，同时有参考通道，采用进口高性能MEMS红外发射器，具有长期漂移小，受温度影响小，抗干扰能力强等特点 ，同时为广大客户提供具有价格竞争力的产品